Strwythur Synhwyrydd Piezoresistive

Yn y synhwyrydd hwn, mae'r stribed gwrthydd wedi'i integreiddio ar y diaffram silicon monocrystalline trwy broses integreiddio i wneud sglodion piezoresistive silicon, ac mae ymyl y sglodion hwn wedi'i becynnu'n sefydlog yn y gragen, ac mae'r gwifrau electrod yn cael eu harwain allan. Mae synhwyrydd pwysau piezoresistive, a elwir hefyd yn synhwyrydd pwysau cyflwr solet, yn wahanol i fesurydd straen gludiog, y mae angen iddo deimlo'r grym allanol yn anuniongyrchol trwy elfennau sensitif elastig, ond mae'n teimlo'n uniongyrchol y pwysedd mesuredig trwy ddiaffram silicon.

Mae un ochr i'r diaffram silicon yn geudod pwysedd uchel sy'n cyfathrebu â'r pwysedd mesuredig, ac mae'r ochr arall yn geudod pwysedd isel sy'n cyfathrebu â'r atmosffer. Yn gyffredinol, mae'r diaffram silicon wedi'i ddylunio fel cylch gydag ymyl sefydlog, ac mae'r gymhareb diamedr i drwch tua 20 ~ 60. Mae pedwar stribed gwrthiant amhuredd P yn cael eu tryledu'n lleol ar y diaffram silicon crwn ac wedi'u cysylltu i mewn i bont lawn, dau ohonynt sydd yn y parth straen cywasgol ac mae'r ddau arall yn y parth straen tynnol, sy'n gymesur o ran canol y diaffram.

Yn ogystal, mae yna hefyd diaffram silicon sgwâr a synhwyrydd colofn silicon. Mae'r synhwyrydd silindrog silicon hefyd wedi'i wneud o stribedi gwrthiannol trwy drylediad i gyfeiriad penodol o awyren grisial o'r silindr silicon, ac mae dwy stribed gwrthsefyll straen tynnol a dwy stribed gwrthsefyll straen cywasgol yn ffurfio pont lawn.

Synhwyrydd piezoresistive yn ddyfais a wneir gan ymwrthedd trylediad ar y swbstrad o ddeunydd lled-ddargludyddion yn ôl effaith piezoresistive deunydd lled-ddargludyddion. Gellir defnyddio ei swbstrad yn uniongyrchol fel synhwyrydd mesur, ac mae'r gwrthiant trylediad wedi'i gysylltu yn y swbstrad ar ffurf pont.

Pan fydd y swbstrad yn cael ei ddadffurfio gan rym allanol, bydd y gwerthoedd gwrthiant yn newid a bydd y bont yn cynhyrchu allbwn anghytbwys cyfatebol. Mae'r swbstradau (neu'r diafframau) a ddefnyddir fel synwyryddion piezoresistive yn bennaf yn wafferi silicon a wafferi germaniwm. Mae synwyryddion piezoresistive silicon wedi'u gwneud o wafferi silicon fel deunyddiau sensitif wedi denu mwy a mwy o sylw, yn enwedig y synwyryddion piezoresistive cyflwr solet ar gyfer mesur pwysau a chyflymder yw'r rhai a ddefnyddir amlaf.