Strwythur synhwyrydd piezoresistive

Yn y synhwyrydd hwn, mae'r stribed gwrthydd wedi'i integreiddio ar y diaffram silicon monocrystalline trwy broses integreiddio i wneud sglodyn piezoresistive silicon, ac mae cyrion y sglodyn hwn yn cael ei becynnu'n sefydlog yn y gragen, ac mae'r arweinwyr electrod yn cael eu harwain allan. Mae synhwyrydd pwysau piezoresistive, a elwir hefyd yn synhwyrydd pwysau cyflwr solid, yn wahanol i fesurydd straen gludiog, y mae angen iddo deimlo'r grym allanol yn anuniongyrchol trwy elfennau sensitif elastig, ond yn uniongyrchol yn teimlo'r pwysau mesuredig trwy ddiaffram silicon.

Mae un ochr i'r diaffram silicon yn geudod pwysedd uchel sy'n cyfathrebu â'r pwysau mesuredig, ac mae'r ochr arall yn geudod pwysedd isel sy'n cyfathrebu â'r awyrgylch. Yn gyffredinol, mae'r diaffram silicon wedi'i ddylunio fel cylch ar gyrion sefydlog, ac mae cymhareb y diamedr i drwch tua 20 ~ 60. Mae pedwar stribed gwrthiant amhuredd P yn cael eu tryledu'n lleol ar y diaffram silicon cylchol ac wedi'u cysylltu â phont lawn, y mae dau ohonynt yn parchu straen arall, ac mae'r parth arall yn y parth arall, yn y parth arall, yn rhan o'r parth arall, ac yn y parch diaffram.

Yn ogystal, mae diaffram silicon sgwâr a synhwyrydd colofn silicon hefyd. Mae'r synhwyrydd silindrog silicon hefyd wedi'i wneud o stribedi gwrthiannol trwy ymlediad i gyfeiriad penodol awyren grisial o'r silindr silicon, a dwy stribed gwrthiannol straen tynnol a dwy stribed gwrthiannol straen cywasgol yn ffurfio pont lawn.

Mae synhwyrydd piezoresistive yn ddyfais a wneir trwy wrthwynebiad trylediad ar swbstrad deunydd lled -ddargludyddion yn ôl effaith piezoresistive deunydd lled -ddargludyddion. Gellir defnyddio ei swbstrad yn uniongyrchol fel synhwyrydd mesur, ac mae'r gwrthiant trylediad wedi'i gysylltu yn y swbstrad ar ffurf pont.

Pan fydd y swbstrad yn cael ei ddadffurfio gan rym allanol, bydd y gwerthoedd gwrthiant yn newid a bydd y bont yn cynhyrchu allbwn anghytbwys cyfatebol. Wafers silicon a wafferi germaniwm yn bennaf yw'r swbstradau (neu'r diafframau) a ddefnyddir fel synwyryddion piezoresistive. Mae synwyryddion piezoresistive silicon wedi'u gwneud o wafferi silicon gan fod deunyddiau sensitif wedi denu mwy a mwy o sylw, yn enwedig y synwyryddion piezoresistive cyflwr solid ar gyfer mesur pwysau a chyflymder yw'r rhai a ddefnyddir fwyaf.