Yn berthnasol i synhwyrydd pwysau rheilffordd cyffredin tanwydd Passat 06E906051K

1. Dull ar gyfer ffurfio synhwyrydd pwysau, sy'n cynnwys:

Darparu swbstrad lled-ddargludyddion, lle mae haen dielectrig interlayer gyntaf, haen dielectrig interlayer gyntaf ac ail haen dielectrig interlayer yn cael eu ffurfio ar y swbstrad lled-ddargludyddion.

Plât electrod is yn yr haen dielectrig interlayer gyntaf, electrod cydfuddiannol cyntaf wedi'i leoli ar yr un haen â'r plât electrod isaf ac wedi'i wahanu oddi wrth ei gilydd.

Cysylltu haenau;

Ffurfio haen aberthol uwchben y plât pegynol isaf;

Ffurfio plât electrod uchaf ar yr haen deuelectrig interlayer gyntaf, yr haen rhyng-gysylltiad cyntaf a'r haen aberthol;

Ar ôl ffurfio'r haen aberthol a chyn ffurfio'r plât uchaf, yn yr haen rhyng-gysylltiad cyntaf

Ffurfio groove cysylltiad, a llenwi'r groove cysylltiad â'r plât uchaf i gysylltu'n drydanol â'r haen rhyng-gysylltiad cyntaf; Neu,

Ar ôl ffurfio'r plât electrod uchaf, mae rhigolau cysylltu yn cael eu ffurfio yn y plât electrod uchaf a'r haen rhyng-gysylltiad cyntaf, sy'n

Ffurfio haen dargludol sy'n cysylltu'r plât electrod uchaf a'r haen rhyng-gysylltiad cyntaf yn y groove cysylltiad;

Ar ôl cysylltu'r plât uchaf a'r haen rhyng-gysylltiad cyntaf yn drydanol, tynnu'r haen aberthol i ffurfio ceudod.

2. y dull ar gyfer ffurfio synhwyrydd pwysau yn ôl hawliad 1, wherein yn yr haen gyntaf

Mae'r dull ar gyfer ffurfio'r haen aberthol ar yr haen dielectrig rhyng-haen yn cynnwys y camau canlynol:

Adneuo haen deunydd aberthol ar yr haen deuelectrig interlayer gyntaf;

Patrymu'r haen deunydd aberthol i ffurfio haen aberthol.

3. Y dull ar gyfer ffurfio'r synhwyrydd pwysau yn ôl hawliad 2, lle defnyddir ffotolithograffeg ac engrafiad.

Mae'r haen deunydd aberthol wedi'i phatrymu gan broses ysgythru.

4. y dull ar gyfer ffurfio synhwyrydd pwysau yn ôl hawliad 3, wherein yr haen aberthol

Mae'r deunydd yn garbon amorffaidd neu germaniwm.

5. y dull ar gyfer ffurfio synhwyrydd pwysau yn ôl hawliad 4, wherein yr haen aberthol

Mae'r deunydd yn garbon amorffaidd;

Mae nwyon ysgythru a ddefnyddir yn y broses o ysgythru yr haen deunydd aberthol yn cynnwys O2, CO, N2 ac Ar;

Y paramedrau yn y broses o ysgythru'r haen deunydd aberthol yw: ystod llif O2 yw 18 SCCM ~ 22 SCCM, a chyfradd llif CO yw 10%.

Mae'r gyfradd llif yn amrywio o 90 SCCM i 110 SCCM, mae cyfradd llif N2 yn amrywio o 90 SCCM i 110 SCCM, a chyfradd llif Ar.

Yr ystod yw 90 SCCM ~ 110 SCCM, yr ystod pwysau yw 90 mtor ~ 110 mtor, a'r pŵer rhagfarn yw

540w - 660w.