Yn berthnasol i Passat Tanwydd Synhwyrydd Pwysedd Rheilffordd Cyffredin 06E906051K

1. Dull ar gyfer ffurfio synhwyrydd pwysau, sy'n cynnwys:

Yn darparu swbstrad lled -ddargludyddion, lle mae haen dielectrig interlayer gyntaf, haen dielectrig interlayer gyntaf ac ail haen dielectrig interlayer yn cael eu ffurfio ar y swbstrad lled -ddargludyddion.

Plât electrod is yn yr haen dielectrig interlayer gyntaf, electrod cydfuddiannol cyntaf wedi'i leoli ar yr un haen â'r plât electrod isaf ac wedi'i ofod ar wahân.

Cysylltu haenau;

Ffurfio haen aberthol uwchben y plât pegynol isaf;

Ffurfio plât electrod uchaf ar yr haen dielectrig interlayer gyntaf, yr haen rhyng -gysylltiad gyntaf a'r haen aberthol;

Ar ôl ffurfio'r haen aberthol a chyn ffurfio'r plât uchaf, yn yr haen rhyng -gysylltiad gyntaf

Ffurfio rhigol cysylltiad, a llenwi'r rhigol cysylltiad â'r plât uchaf i gysylltu'n drydanol â'r haen rhyng -gysylltiad gyntaf; Neu,

Ar ôl ffurfio'r plât electrod uchaf, mae rhigolau cysylltu yn cael eu ffurfio yn y plât electrod uchaf a'r haen ryng -gysylltiad gyntaf, a

Ffurfio haen dargludol sy'n cysylltu'r plât electrod uchaf a'r haen rhyng -gysylltiad gyntaf yn y rhigol cysylltiad;

Ar ôl cysylltu'r plât uchaf yn drydanol a'r haen rhyng -gysylltiad gyntaf, gan gael gwared ar yr haen aberthol i ffurfio ceudod.

2. Y dull ar gyfer ffurfio synhwyrydd pwysau yn ôl hawliad 1, lle yn yr haen gyntaf

Mae'r dull ar gyfer ffurfio'r haen aberthol ar yr haen dielectrig interlayer yn cynnwys y camau canlynol:

Adneuo haen deunydd aberthol ar yr haen dielectrig interlayer gyntaf;

Patrwm yr haen deunydd aberthol i ffurfio haen aberthol.

3. Y dull ar gyfer ffurfio'r synhwyrydd pwysau yn ôl hawliad 2, lle defnyddir ffotolithograffeg ac engrafiad.

Mae'r haen deunydd aberthol wedi'i phatrymu yn ôl y broses ysgythru.

4. Y dull ar gyfer ffurfio synhwyrydd pwysau yn ôl hawliad 3, lle mae'r haen aberthol

Y deunydd yw carbon amorffaidd neu germaniwm.

5. Y dull ar gyfer ffurfio synhwyrydd pwysau yn ôl hawliad 4, lle mae'r haen aberthol

Mae'r deunydd yn garbon amorffaidd;

Mae nwyon ysgythru a ddefnyddir yn y broses o ysgythru'r haen deunydd aberthol yn cynnwys O2, CO, N2 ac AR;

Y paramedrau yn y broses o ysgythru'r haen deunydd aberthol yw: Ystod llif O2 yw 18 SCCM ~ 22 SCCM, a chyfradd llif y CO yw 10%.

Mae'r gyfradd llif yn amrywio o 90 SCCM i 110 SCCM, mae'r gyfradd llif o N2 yn amrywio o 90 SCCM i 110 SCCM, a chyfradd llif AR.

Yr ystod yw 90 sccm ~ 110 sccm, yr ystod pwysau yw 90 mtor ~ 110 mtor, ac mae'r pŵer rhagfarn yn

540W ～ 660W。